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    (1)高真空機(jī)組(一般采用油擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵),能夠?qū)附咏^熱氣瓶的夾層抽真空,并且能保證系統(tǒng)真空度在10Pa以內(nèi),其中油擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵的性能至少達(dá)到以下要求:
    ①羅茨泵,極限全壓力為0.75Pa,極限壓力為3x10Pa,幾何抽速為150L/s;
    ②機(jī)械泵,極限壓力為6×102Pa,極限全壓力為1Pa,抽氣速率為30L/s
    ③油擴(kuò)散泵,抽氣速率為2000L/s,極限壓力為7x10°Pa,最大排氣壓力為40Pa
    (2)用于靜態(tài)蒸發(fā)率測試的質(zhì)量流量計(jì)及質(zhì)量流量控制器能夠?qū)崟r(shí)顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量,精度等級至少為±1.5F.S;
    (3)用于夾層真空度測試的真空規(guī)管必須采用金屬規(guī)管,真空規(guī)管測量范圍至少為105pa~5*10-7pa
    (4)氨質(zhì)譜檢漏儀,最小可檢漏率至少達(dá)到102Pam3/s。

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