（1）高真空機(jī)組（一般采用油擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵），能夠?qū)附咏^熱氣瓶的夾層抽真空，并且能保證系統(tǒng)真空度在10Pa以內(nèi)，其中油擴(kuò)散泵、羅茨泵、機(jī)械泵的性能至少達(dá)到以下要求：
①羅茨泵，極限全壓力為0．75Pa，極限壓力為3x10Pa，幾何抽速為150L／s；
②機(jī)械泵，極限壓力為6×102Pa，極限全壓力為1Pa，抽氣速率為30L／s
③油擴(kuò)散泵，抽氣速率為2000L/s，極限壓力為7x10°Pa，最大排氣壓力為40Pa
（2）用于靜態(tài)蒸發(fā)率測試的質(zhì)量流量計(jì)及質(zhì)量流量控制器能夠?qū)崟r(shí)顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量，精度等級至少為±1.5F.S；
（3）用于夾層真空度測試的真空規(guī)管必須采用金屬規(guī)管，真空規(guī)管測量范圍至少為105pa~5*10-7pa
（4）氨質(zhì)譜檢漏儀，最小可檢漏率至少達(dá)到102Pam3/s。
壓力單位的換算關(guān)系MPa，kPa，bar，psi
水壓與氣壓的壓縮率關(guān)系
水壓試驗(yàn)與氣壓試驗(yàn)的區(qū)別
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